AOI光学检测操作规范
自动光学检测(AOI)设备操作规范,涵盖程序编制、检测参数设定、缺陷分类及误报处理方法。适用于内层/外层/阻焊/字符全工序
资料分类
设备操作
工艺类型
测试
难度等级
中级
详细内容
AOI检测流程
1.程序编制:导入Gerber/CAM数据→设定检测区域→定义参考点(Mark)→设定检测灵敏度→试运行调参
2.检测参数:分辨率10-25μm/pixel(根据最小线宽选择);光源角度0°/30°/60°组合;颜色模式RGB/HSV
3.缺陷分类:开路/短路/缺口/残铜/针孔/脏污/划伤/偏移
4.误报处理:建立误报库(Learn Mode);定期更新Golden Sample;误报率目标<0.5%
日常维护
- 每日清洁镜头和光源
- 每周校准XY平台精度
- 每月进行GR&R验证
工艺参数
分辨率:10-25μm/pixel;光源:0°/30°/60°;误报率:<0.5%;检出率:>99.9%
质量标准
IPC-A-600;检出率≥99.9%;误报率≤0.5%;重复性GR&R≤10%
设备要求
AOI设备(Koh Young/Zenit/VCTA);CAM软件;缺陷管理系统

