D1团队组建
工艺部:柳工、柏工;化验室:水工
D2问题描述
沉银厚度0.08μm不足,接触电阻10-50mΩ波动
D3临时围堵措施
在制品XRF膜厚检测,<0.12μm的退镀重做
D4根本原因分析
槽液使用超6个月,Ag⁺浓度降至0.3g/L(标准0.8-1.2g/L)
D5永久纠正措施
更换全新槽液,Ag⁺浓度1.0g/L,温度40°C
D6实施验证
5批次膜厚均值0.22μm,接触电阻<5mΩ
D7预防措施
建立槽液寿命管理卡,按处理面积累计更换
D8团队表彰与总结
品质团队获施耐德供应商质量认证
经验教训
沉银槽液活性每周检测,建立更换周期标准

